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薄膜测厚仪测试原理及操作方法介绍

发布时间:2024-04-30 10:25:52      发布人:小编  浏览量:144

  薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离。对于微电子薄膜而言,如光学薄膜,抗氧化薄膜,巨磁电阻薄膜,高温超导薄膜等,其厚度是一个非常重要的参数,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。除此之外,薄膜的厚度也会直接影响到薄膜材料的力学性能,透光性能,磁性能,热导率,表面结构等。

薄膜测厚仪

  薄膜测厚仪

  三泉中石CHY-U薄膜测厚仪是一种常用的薄膜厚度检测方法,采用机械接触式测量标准,适用于2mm范围内各种薄膜、复合膜、纸张、金属箔片等硬质和软质材料厚度准确测量,误差小,操作简单方便,满足GB/T 6672《塑料薄膜和薄片厚度测定 机械测量法》等标准。

  测试原理

  将预先处理好的薄型试样的一面置于下测量面上,与下测量面平行且中心对齐的上测量面,以一定的压力,落到薄型试样的另一面上,同测量头一体的传感器自动检测出上下测量面之间的距离,即为薄型试样的厚度。

  薄膜测厚仪操作方法介绍

  根据国标中的要求,对同一张薄膜选取10个测试点,薄膜厚度测量方法如下:

  1、将两个激光传感器分装在薄膜试样的上下方,把传感器固定在支架上。

  2、打开仪器,设置参数,放置对比量块,点击“确认”。

  3、取走滑块,重新设置与步骤(2)相同的参数,放入薄膜试样。

  4、分别取10个不同的点,位置尽量错开,避免因距离太近影响数据。

  5、测量值通过串口传输到计算机,再通过在计算机上的测厚软件进行处理,得到目标的厚度值。

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